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低溫等離子光化學設備系統設備具有以下特點： 工藝系統的處理效率很高，并且很穩定； 初期投資費用不高，運行費用低，維護保養簡單， 工藝系統容易操作，

低溫等離子光化學工藝光化學能大大促進低溫等離子的反應效果與速率，設計采用不同的強針對性的工藝技術；組合式工藝極大的提高了廢氣治理效率

低溫等離子光化學設備運行過程中不會產生二次污染。凈化作用持久，無需特殊照顧，運行維護費用低。除霧后，達到國家排放標準的氣體通過引風機排入大氣。